倍半矽氧烷-氧化钛混成聚合物

摘要

本发明系有关于倍半矽氧烷-氧化钛混成聚合物，其中，氧化钛区域尺寸系少于约5奈米。此等聚合物可用于，例如，在制造微电子元件中形成抗反射涂覆物。