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发明名称
制造具有无机涂层之箔零件之方法
摘要
本发明系关于一种制造具有无机涂层之箔零件之方法,该方法包含以下步骤:(a)提供一可蚀刻临时基板箔,(b)在该临时基板上涂覆无机涂层,(c)施加一永久载体,(d)视情况移除该临时基板之一部分,(e)沿一切割线将该箔切成零件,其中该切割线在该箔上之所在处有该临时基板存在,且基板相对于该切割线各侧具有至少0.25 mm之宽度,(f)移除至少该临时基板之一部分。
申请公布号
TW200723554
申请公布日期
2007.06.16
申请号
TW095112133
申请日期
2006.04.06
申请人
艾克索诺贝尔公司
发明人
鲁米拉V 狄 强格
分类号
H01L31/18(2006.01);H01L31/0224(2006.01)
主分类号
H01L31/18(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
荷兰
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