发明名称 剥除剂
摘要 所提供为有用于从基材,例如电子装置,移除聚合性材料及氧化铜的组成物及方法。这些组成物及方法特别适用于电浆蚀刻后,从电子装置移除聚合物残余物。
申请公布号 TW200722505 申请公布日期 2007.06.16
申请号 TW095132841 申请日期 2006.09.06
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 欧杰尔
分类号 C09K13/00(2006.01);C11D7/28(2006.01);C11D7/26(2006.01);C11D7/32(2006.01);H01L21/306(2006.01) 主分类号 C09K13/00(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国