化学机械研磨设备与化学机械研磨制程

摘要

一种化学机械研磨设备，此化学机械研磨设备系至少由研磨机台、第一厚度量测仪与第二厚度量测仪所构成，其中第一厚度量测仪系与研磨机台连接，而第二厚度量测仪系与研磨机台连接。由于第一厚度量测仪与第二厚度量测仪可以以原位的方式，用以量测研磨制程后所保留下来的第一材料层与第二材料层的厚度，因此可以减少晶圆之间的膜厚差异。