| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种机构，该机构于处理基板之期间，使支持台适当地支持基板，并且于将基板载置于支持台或者自支持台举起时亦可适当地处理基板。该机构设置抵接于基板90周边部之第1支持销33与抵接于基板90部之第2支持销34。藉由固设于升降板351之滑接板352支持第1支持销33之下端，藉由提升构件354支持第2支持销34之下端。将提升构件354之下部以贯通固设于升降板351之滑接板353之方式配置，并相对于升降板351于特定范围内升降自如地支持。设计成合计第2支持销34及提升构件354之上下方向之尺寸，成为自保持面30至固定板350上面之尺寸。 |
