发明名称 ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A POLARISATION INCIDENTE ET ANALYSEUR FIXES
摘要
申请公布号 FR2860298(B1) 申请公布日期 2007.06.15
申请号 FR20030011261 申请日期 2003.09.25
申请人 STEHLE ROBERT ANDRE MARCEL 发明人 STEHLE ROBERT ANDRE MARCEL
分类号 G01N21/21;G01J4/00 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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