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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 KR100729372(B1) 申请公布日期 2007.06.15
申请号 KR20040112346 申请日期 2004.12.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/762;H01L29/165;H01L29/786 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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