发明名称 VERFAHREN ZUM FORMGEBENDEN AETZEN EINES HALBLEITERKOERPERS
摘要
申请公布号 DE2121834(B2) 申请公布日期 1972.12.14
申请号 DE19712121834 申请日期 1971.05.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/308;H01L23/29;(IPC1-7):C23F1/02 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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