METHOD FOR MACHINING AN OPTICAL ELEMENT AND OPTICAL ELEMENT
摘要
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bearbeitung eines optisches Elementes, welches ein Substrat (110) und ein auf diesem Substrat (110) aufgebrachtes Schichtsystem (120) aufweist, wobei das Schichtsystem (120) in einem Ausgangszustand eine Mehrzahl von Volumendefekten (130) aufweist, wobei das Verfahren den Schritt aufweist: Wenigstens teilweises Auffüllen wenigstens eines der Volumendefekte (130) mit einem Füllmaterial (140) . Die Erfindüng betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes.</p>
申请公布号
WO2007065769(A1)
申请公布日期
2007.06.14
申请号
WO2006EP68319
申请日期
2006.11.09
申请人
CARL ZEISS SMT AG;PAZIDIS, ALEXANDRA;ZACZEK, CHRISTOPH;HIRNET, ALEXANDER;FINK, HERBERT;SCHMEREK, DIETER
