VIBROMETER

摘要

Es wird ein Vibrometer (1, 23) angegeben, welches eine Strahlungsquelle (z.B. 2) für kohärente Strahlung, einen Strahlteiler (4) zur Zerlegung des Ausgangsstrahls (13) der Strahlungsquelle (z.B. 2) in einen Messstrahl (14) zur Beobachtung eines schwingenden Objekts (17) und in einen Referenzstrahl (15), eine Strahlführungseinrichtung zur Überlagerung des vom schwingenden Objekt (17) rücklaufenden Messstrahls (18) mit dem Rerefenzstrahl (15) und einen Detektor (10) zur zeit- und/oder ortsaufgelösten Aufnahme der Überlagerungsmuster umfasst. Dabei ist ein im Strahlengang des rücklaufenden Messstrahls (18) angeordnetes Mikrospiegelraster (8), eine Empfangsoptik (7) zur Abbildung des schwingenden Objekts (17) auf das Mikrospiegelraster (8) und eine Abbildungsoptik (9) zur Abbildung des Mikrospiegelrasers (8) auf den Detektor (10) vorgesehen. Das abbildende Vibrometer (1, 23) zeichnet sich durch eine geringe Messzeit aus. Weiter werden ein Verfahren zur Erzeugung eines Schwingungsbilds des schwingenden Objekts (17) sowie eine Verwendung des Vibrometers (1, 23) angegeben.