Mikroelektronisches Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines mikroelektronischen Bauelements

摘要

Ein mikroelektronisches Bauelement umfasst ein Substrat und einen Transistor. Der Transistor umfasst einen Kanalbereich in dem Substrat, sowie eine Ausnehmung in dem Kanalbereich, eine erste dielektrische Schicht und eine zweite dielektrische Schicht. Die erste dielektrische Schicht weist ein erstes dielektrisches Material auf und ist am Grund der Ausnehmung aufgebracht. Die zweite dielektrische Schicht weist ein zweites dielektrisches Material auf und ist an einer Seitenwand der Ausnehmung aufgebracht. Die Dielektrizitätskonstante des ersten dielektrischen Materials ist höher als die Dielektrizitätskonstante des zweiten dielektrischen Materials. Eine Gate-Elektrode befindet sich in der Ausnehmung und ist durch die erste und die zweite dielektrische Schicht von dem Kanalbereich elektrisch isoliert.