Heizaggregat für die Herstellung einer Halbleitervorrichtung und dessen Verwendung,申请号DE20021048728-传众专利搜索

发明名称	Heizaggregat für die Herstellung einer Halbleitervorrichtung und dessen Verwendung
摘要
申请公布号	DE10248728(B4)	申请公布日期	2007.06.14
申请号	DE20021048728	申请日期	2002.10.18
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.	发明人	CHOI, CHUL-HWAN;JEON, JIN-HO;KIM, YONG-GAB;JANG, SUNG-HWAN;LEE, DONG-WON;LEE, MIN-WOO;KIM, KYUNG-TAE
分类号	C23C16/46;H01L21/324;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/477;H01L21/68	主分类号	C23C16/46
代理机构		代理人
主权项
地址