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经营范围
发明名称
Lithographischer Projektionsapparat
摘要
申请公布号
DE69933918(T2)
申请公布日期
2007.06.14
申请号
DE19996033918T
申请日期
1999.12.08
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
VAN DER VEEN, PAUL;NOORDMAN, OSCAR FRANCISCUS JOZEPHUS
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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