Verfahren zur Herstellung von SPM- und CD-SPM-Nanonadel-Sonden unter Einsatz von Ionenstrahlen und dadurch hergestellte SPM- und CD-SPM-Nanonadel-Sonden
摘要
申请公布号
DE112005001585(T5)
申请公布日期
2007.06.14
申请号
DE20051101585
申请日期
2005.07.01
申请人
KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE
发明人
PARK, BYONG-CHEON;JUNG, KI-YOUNG;SONG, WON-YOUNG;HONG, JAE-WAN;O, BEOM-HOAN;AHN, SANG-JUNG
