Verfahren und System zum Abschätzen eines Zustands einer nicht initialisierten fortschrittlichen Prozesssteuerung durch Anwendung unterteilter Steuerungsdaten

摘要

Eine APC-Steuerung ist ausgebildet, auf einer unterteilten Datenstruktur während des normalen Betriebs zu operieren und einen Steuerungszustand während eines Initialisierungsereignisses für einen nicht initialisierten Fertigungskontext auf der Grundlage anderer initialisierter oder nicht initialisierter Fertigungskontexte zu ermitteln. Somit kann die Bearbeitung von Pilotsubstraten reduziert werden oder die Bearbeitung der Pilotsubstrate kann auf der Grundlage zuverlässiger etablierter Prozessparameter initiiert werden.