| 发明名称 |
Trockenätzprozesskontrolle durch elektrisch polarisierte Stopübergänge |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69737431(T2) |
申请公布日期 |
2007.06.14 |
| 申请号 |
DE1997637431T |
申请日期 |
1997.06.24 |
| 申请人 |
XEROX CORP. |
发明人 |
PEETERS, ERIC;KUBBY, JOEL A. |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;B81C1/00;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/465;H01L49/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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