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发明名称 Oberflächenuntersuchungsvorrichtung und -verfahren
摘要
申请公布号 DE60313558(D1) 申请公布日期 2007.06.14
申请号 DE2003613558 申请日期 2003.11.03
申请人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP. 发明人 HORAI, IZUO;AIKOU, KENJI;MORI, KYOICHI
分类号 G01N21/88;G01B11/30;G01B15/08;G01N21/95;G01N23/223 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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