发明名称 WÄRMEBEHANDLUNGSEINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60219903(D1) 申请公布日期 2007.06.14
申请号 DE20026019903 申请日期 2002.03.20
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 MAKIYA, TOSHIYUKI;SAITO, TAKANORI;EICKMANN, KARUKI;KAUSHAL, SANJEEV;DIP, ANTHONY;O'MEARA, DAVID L
分类号 G01K7/02;H01L21/31;C23C16/46;G01K1/20;G01K7/04;H01L21/22 主分类号 G01K7/02
代理机构 代理人
主权项
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