聚合物高分子材料表面改性的方法及其装置

摘要

本发明公开的聚合物高分子材料表面改性的方法，是以清洁后的聚合物高分子材料为衬底，将其置于脉冲激发等离子体化学气相沉积装置的反应室中，先向反应室通入氩气和氢气，用产生的等离子体对室温或加热至50－100℃的衬底进行活化处理；再通入纯乙烯气体，控制气体流量比为氩气∶氢气∶乙烯＝5∶1－2.0∶0.2－0.6，在衬底上沉积类金刚石薄膜。采用本发明可以在＜100℃温度下，在聚合物高分子材料表面涂覆DLC薄膜，工艺简单，可操作性强。薄膜的沉积速度快(可达20－60nm/min)，膜基结合牢固(最大膜基结合力达到40N)，大大提高了聚合物高分子材料的抗紫外线照射和水、气密封性等综合性能。

主权项

1.聚合物高分子材料表面改性的方法，其特征在于步骤如下：1)以清洁后的聚合物高分子材料为衬底，将其置于脉冲激发等离子体化学气相沉积装置的反应室中，并固定在反应室的上、下平行电极之间；2)反应室抽真空至本底真空3×10-3Pa，通入纯氩气和氢气，衬底保持室温或加热至50-100℃，开启脉冲激发电源，电源的电压为1-3kV，产生等离子体轰击衬底，对聚合物高分子材料表面进行活化处理；3)再通入纯乙烯气体，控制气体流量比为氩气∶氢气∶乙烯＝5∶1-2.0∶0.2-0.6，调整反应压强至100-500Pa，调整脉冲激发电源的电压为5-30kV，在衬底上沉积类金刚石薄膜。