酸感应性共聚物及其用途

摘要

本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其具有高灵敏度，并且能使用便宜的光酸发生剂，可以近紫外曝光及弱碱显像，具有高分辨率，也能应用于含通孔的基板。该正型光致抗蚀剂组合物由酸感应性共聚物构成，所述酸感应性共聚物包括第1构成单元、第2单元和第3单元，所述第1单元衍生自4－(1－甲基乙烯基)苯酚和/或4－乙烯基苯酚，所述第2单元衍生自(甲基)丙烯酸酯类、所述第3单元衍生自(甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯类。

主权项

1.一种酸感应性共聚物，其特征是含有下述通式(1)所示的第1构成单元、下述通式(2)所示的第2构成单元和下述通式(3)所示的第3构成单元，其中，通式(1)所示的第1构成单元为：式(1)中，X表示氢原子或甲基；通式(2)所示的第2构成单元为：式(2)中，R¹表示氢原子或甲基，R²表示碳原子数1～6的直链或支链的无取代烷基、羟基取代的碳原子数1～6的直链或支链的烷基、卤素原子取代的碳原子数1～6的直链或支链的烷基、氰基取代的碳原子数1～6的直链或支链的烷基或二烷基胺基取代的碳原子数1～6的直链或支链的烷基；通式(3)所示的第3构成单元为：式(3)中、R³表示氢原子或甲基，R⁴表示氢原子、卤素原子或碳原子数1～6的直链或支链的无取代烷基，Y表示氢原子、碳原子数1～6的直链或支链的无取代烷基或碳原子数1～6的直链或支链的取代烷基，Z表示碳原子数1～6的直链或支链的无取代烷基或碳原子数1～6的直链或支链的取代烷基，Y和Z也可结合形成环结构；另外，a，b，c表示组成比，a为0.05～0.3、b为0.1～0.7、c为0.2～0.8的有理数，a，b，c的总和为1。