| 发明名称 | 清洗方法及清洗装置 | ||
| 摘要 | 通过用液化气体或超临界流体清洗介质清洗具有凹部构造的部件来提高清洗效果。在去除附着在具有凹部构造的部件(31)的至少上述凹部构造表面的附着物的清洗方法中，使用超临界气体或液化气体使清洗介质不遍布在上述凹部构造表面来进行清洗。 | ||
| 申请公布号 | CN1320966C | 申请公布日期 | 2007.06.13 |
| 申请号 | CN03811605.7 | 申请日期 | 2003.05.12 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 入江庸介;森田清之;铃木正明;足立明久;桥本雅彦 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01);B08B9/22(2006.01) | 主分类号 | B08B3/08(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1.一种清洗方法，在去除附着在具有凹部构造的部件(27、28、29、30、32)的至少上述凹部构造表面的附着物(26)的清洗方法中，通过把附着有上述附着物的上述部件放入清洗槽(1)，向上述清洗槽内通入清洗介质，使上述部件处于上述清洗介质气氛中，改变上述清洗介质的温度、压力，对上述清洗介质进行液体状态与气体状态交替的状态变化后，把上述气体状态的上述清洗介质变化为超临界状态来清洗上述凹部构造表面。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||