首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
VOLTAGE NON-UNIFORMITY COMPENSATION METHOD FOR HIGH FREQUENCY PLASMA REACTOR FOR THE TREATMENT OF RECTANGULAR LARGE AREA SUBSTRATES
摘要
申请公布号
EP1665323(B1)
申请公布日期
2007.06.13
申请号
EP20040761903
申请日期
2004.09.08
申请人
OC OERLIKON BALZERS AG
发明人
SCHMITT, JACQUES;SANSONNENS, LAURENT;ELYAAKOUBI, MUSTAPHA;IRZYK, MICHAEL
分类号
H01J37/32;C23C16/00
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
PIPE CONNECTING COUPLING OF MARINE STRUCTURAL PRODUCT CAPABLE OF EASILY CONNECTING CYLINDRICAL PIPES WITH EACH OTHER
HEAT RADIATION STRUCTURE FOR MOVER OF LINEAR MOTOR, INCLUDING METALLIC HEAT SINK FOR RADIATING HEAT GENERATED FROM COIL OF MOVER
Fremgangsmate for fremstilling av suppositorier
Maskin for emballering av beholdere
Fremgangsmate og anordning for forankring og ekapandering av i et borehull
FOCUS CONTROL APPARATUS FOR CCTV CAMERA FOR CONTROLLING FOCUS AND DISTANCE OF LENS MOUNTED TO INSIDE OF HOUSING
U-SHAPED SIDE GUTTER INSTALLED TO INCLINED AREA OF CONSTRUCTION BLOCK FOR REGULATING HORIZONTAL WATERWAY BY ADJUSTING WIDTH OF UPPER PART
ЭЛЕКТРОНАГРЕВАТЕЛЬ
БОЕПРИПАС
APPARATUS AND METHOD FOR TESTING DISPLAY DEVICES TO AUTOMATICALLY CARRY OUT ANALOG MODE TEST, DIGITAL MODE TEST AND OSD MODE TEST
БРОНЕБОЙНАЯ ПУЛЯ
ЗАМОК ВИСЯЧИЙ
СЛОИСТЫЙ КОМПОЗИЦИОННЫЙ МАТЕРИАЛ И ИЗДЕЛИЕ, ВЫПОЛНЕННОЕ ИЗ НЕГО
ЗАПИРАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ДЕРЖАТЕЛЯ ПАТРОНА В САМОЗАРЯДНОМ ОГНЕСТРЕЛЬНОМ ОРУЖИИ
СОСТАВ ДЛЯ ПРОФИЛАКТИКИ И ЛЕЧЕНИЯ ФИБРОЗНО-КИСТОЗНОЙ МАСТОПАТИИ
СПОСОБ СНИЖЕНИЯ ДОННОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ АРТИЛЛЕРИЙСКОГО СНАРЯДА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ ИЗ ПОЛИМЕРНОГО МАТЕРИАЛА ПУТЕМ КОАЛЕСЦЕНЦИИ И ИЗГОТОВЛЕННОЕ ИЗДЕЛИЕ ИЗ ПОЛИМЕРНОГО МАТЕРИАЛА
РЕНТГЕНОГРАФИЧЕСКАЯ УСТАНОВКА СКАНИРУЮЩЕГО ТИПА
СПОСОБ ВЫБОРА СОСТАВА ДЛЯ ОДНОГО ИЛИ БОЛЕЕ СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ
КОНСТРУКЦИЯ ТАНКА