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发明名称 INDUCTIVE PLASMA PROCESSOR INCLUDING CURRENT SENSOR FOR PLASMA EXCITATION COIL
摘要
申请公布号 EP1374277(B1) 申请公布日期 2007.06.13
申请号 EP20020719377 申请日期 2002.03.29
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 VELTROP, ROBERT, G.;CHEN, JIAN, J.;WICKER, THOMAS, E.
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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