基板回收方法以及基板处理装置

摘要

在基板处理装置发生故障时，回收基板处理装置内残存的基板以便不对后面的基板处理带来不良影响，迅速再次开始基板处理。在涂敷显影处理装置内发生故障时，利用装置内的输送单元将涂敷显影处理装置内的所有基板回收到输入输出部。此时，各输送单元，将基板从故障发生时的各位置向输入输出部的方向输送来进行回收。并且，对于故障发生时正在处理单元内接受处理的基板，在该处理结束后回收。

主权项

1、一种基板回收方法，在基板处理装置中，将上述基板处理装置内的基板回收到输入输出部，所述基板处理装置具有：输入输出部，用于输入输出基板；处理部，具备处理基板的多个处理单元；基板输送机构，能够将从上述输入输出部输入的基板依次输送到上述处理部的处理单元，并能将在上述处理部实施既定处理后的基板返回上述输入输出部，该方法的特征在于，在上述基板处理装置发生故障时，由上述基板输送机构将基板处理装置内的所有基板回收到上述输入输出部；对于上述回收的基板中的、正在上述处理单元内接受处理的基板，在该处理单元中的处理结束后再进行回收。