| 发明名称 | 薄板状电子组件清洁搬运装置及薄板状电子产品制造系统 | ||
| 摘要 | 一种于清洁搬运装置(2)的框体(2a)的搬送机器人(10)的中位部、手臂(17)正下方，设置由穿孔板所构成能流通空气的第1床(11)，并限制支撑搬送机器人(10)的基部的框体底部框(2b)对外部的开口率，可以保持在等级1。其中，在框体底部框(2b)上使用由穿孔板所组成的第2床(13)，在特定条件下，可以实现等级0的状态，能够用于0.1微米线宽的半导体的制造。因此，伴随着高集积度半导体晶圆上线宽的微细化，在搬运装置中也能够对应0.1微米粒子，而达到等级1的较公知高的洁净度。 | ||
| 申请公布号 | CN1321294C | 申请公布日期 | 2007.06.13 |
| 申请号 | CN03812794.6 | 申请日期 | 2003.06.04 |
| 申请人 | 罗兹株式会社 | 发明人 | 崎谷文雄 |
| 分类号 | F24F7/06(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | F24F7/06(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1.一种薄板状电子组件清洁搬运装置，是将在框体内开口的匣盒内所收纳的薄板状电子组件在该框体内，在从该框体的天井所设置的风扇过滤器单元向框体内吹出干净空气的状态下，通过该框体内的搬运机器人在设定的位置之间自动搬运的装置，其特征在于：前述风扇过滤单元具备有使0.1微米以上的粒子除去99.999％以上的过滤器；以及前述框体在前述搬送机器人中央部位中的该搬送机器人的手臂下侧水平地设置使空气流通的第1床，在前述风扇过滤单元与第1床之间隔成第1室，在对外部能够使空气流通的框体底部与第1床之间隔成第2室。 | ||
| 地址 | 日本广岛县 | ||