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发明名称
ULTRASONIC WASHING EQUIPMENT AND ULTRASONIC WASHING METHOD
摘要
申请公布号
EP1557224(A4)
申请公布日期
2007.06.13
申请号
EP20030751361
申请日期
2003.10.07
申请人
STAR CLUSTER CO., LTD.;TSK CO.;AISIN AW CO., LTD.;SHIBANO, MIYUKI;OKUNO, SHIN;SAKAKIBARA, MASATO
发明人
SHIBANO, MIYUKI;OKUNO, SHIN;SAKAKIBARA, MASATO
分类号
B08B3/04;B08B3/10;B08B3/12;C23G5/00;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/12;H01L21/304
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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