发明名称 MAGNETIC INDUCTION DEVICE FOR METAL TARGET OF ION PLATING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100727646(B1) 申请公布日期 2007.06.13
申请号 KR20050118434 申请日期 2005.12.06
申请人 发明人
分类号 C23C14/46 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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