发明名称 |
非挥发性存储器及其制造方法与操作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种非挥发性存储器单元,其包括基底、导体层、电荷储存层、第一掺杂区、二个第二掺杂区、第一导线及第二导线。基底中具有沟槽,而导体层配置于基底中并填满沟槽。电荷储存层配置于导体层与基底之间。第一掺杂区,配置于沟槽下方的基底中,而二个第二掺杂区分别配置于沟槽两侧的基底中。第一导线及第二导线,配置于基底上,分别电连接于二个第二掺杂区,且第一导线与第二导线为平行排列。 |
申请公布号 |
CN1979865A |
申请公布日期 |
2007.06.13 |
申请号 |
CN200510129766.0 |
申请日期 |
2005.12.05 |
申请人 |
力晶半导体股份有限公司 |
发明人 |
李永忠;陈世宪;黄汉屏 |
分类号 |
H01L27/105(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L21/8239(2006.01);H01L21/8247(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/105(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1、一种非挥发性存储器单元,包括:一基底,该基底中具有一沟槽;一导体层,配置于该沟槽中,并于该沟槽方向延伸;一电荷储存层,配置于该导体层与该基底之间;一第一掺杂区,配置于该沟槽下方的该沟槽中;二第二掺杂区,分别配置于该沟槽两侧的该基底中;以及一第一导线及一第二导线,平行配置于该基底上,分别电连接于二第二掺杂区之一,且第一导线与该第二导线以与该导体层相交的方向延伸。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |