发明名称 非挥发性存储器及其制造方法与操作方法
摘要 本发明公开了一种非挥发性存储器单元,其包括基底、导体层、电荷储存层、第一掺杂区、二个第二掺杂区、第一导线及第二导线。基底中具有沟槽,而导体层配置于基底中并填满沟槽。电荷储存层配置于导体层与基底之间。第一掺杂区,配置于沟槽下方的基底中,而二个第二掺杂区分别配置于沟槽两侧的基底中。第一导线及第二导线,配置于基底上,分别电连接于二个第二掺杂区,且第一导线与第二导线为平行排列。
申请公布号 CN1979865A 申请公布日期 2007.06.13
申请号 CN200510129766.0 申请日期 2005.12.05
申请人 力晶半导体股份有限公司 发明人 李永忠;陈世宪;黄汉屏
分类号 H01L27/105(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L21/8239(2006.01);H01L21/8247(2006.01) 主分类号 H01L27/105(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1、一种非挥发性存储器单元,包括:一基底,该基底中具有一沟槽;一导体层,配置于该沟槽中,并于该沟槽方向延伸;一电荷储存层,配置于该导体层与该基底之间;一第一掺杂区,配置于该沟槽下方的该沟槽中;二第二掺杂区,分别配置于该沟槽两侧的该基底中;以及一第一导线及一第二导线,平行配置于该基底上,分别电连接于二第二掺杂区之一,且第一导线与该第二导线以与该导体层相交的方向延伸。
地址 中国台湾新竹市