| 发明名称 | XUV射线发射和发生装置 | ||
| 摘要 | 一种XUV射线发射和发生装置(2)设有一个目标物(4)，该目标物(4)在聚集荷电粒子时发射XUV射线，其中目标物(4)设有一个基体(18)，该基体(18)至少部分设有第一层(20)，第一层(20)包含一种在聚集荷电粒子时发射XUV射线的材料。按照本发明，附加于第一层(20)上的至少设有第二层(22)，第二层(22)包含一种较高导电性能的材料。 | ||
| 申请公布号 | CN1981361A | 申请公布日期 | 2007.06.13 |
| 申请号 | CN200580016935.8 | 申请日期 | 2005.05.04 |
| 申请人 | 科美特有限公司 | 发明人 | 阿尔弗雷德·赖因霍尔德 |
| 分类号 | H01J35/08(2006.01);H01J37/06(2006.01) | 主分类号 | H01J35/08(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英;邵桂礼 |
| 主权项 | 1.一种XUV射线发射和发生装置，它设有一个在聚集荷电粒子时发射XUV射线的目标物，其中目标物设有一个基体，该基体至少部分设有第一层，第一层包含一种在聚集荷电粒子时发射XUV射线的材料，其特征在于，附加于第一层(20)上的至少设有第二层(22)，第二层(22)包含一种较高导电性能的材料。 | ||
| 地址 | 德国加伯森市 | ||