双对数放大器相位－幅度探测器

摘要

本发明提供一种包括提供RF输出功率的RF功率发生器的功率发生系统。该功率发生系统包括具有双对数放大器相位－幅度探测器的相位－幅度探测器模块。该双对数放大器相位－幅度探测器接收电流信号和电压信号。该双对数放大器相位－幅度探测器产生根据该电压信号和该电流信号之间的相位而变化的相位信号，以及根据该电压信号和该电流信号之间的幅度而变化的幅度信号。控制器接收该相位信号和幅度信号，并把控制信号传送给匹配网络。

主权项

1、一种功率发生系统，包括：RF功率发生器，该RF功率发生器提供RF输出功率；匹配网络，与该RF功率发生器相通信并接收该RF输出功率，该匹配网络还与负载相通信并具有可变阻抗；相位-幅度探测器模块，接收至少一个根据该RF输出功率而变化的信号，该相位-幅度探测器模块包括双对数放大器相位-幅度探测器，该双对数放大器相位-幅度探测器接收根据该RF输出功率的电流而变化的电流信号，以及根据该RF输出功率的电压而变化的电压信号，该双对数放大器相位-幅度探测器产生根据该电压信号和电流信号之间的相位而变化的相位信号，以及根据该电压信号和电流信号之间的幅度而变化的幅度信号；和控制器，用于接收该相位信号和幅度信号，并把至少一个控制信号传送给该匹配网络以改变其阻抗。