智能化光学薄膜全自动监控系统

摘要

本实用新型公开了一种智能化光学薄膜全自动监控系统，包括：光源发射系统、聚光镜、小孔光阑、监控片、反射镜、光谱仪和晶控仪，监控片设置在真空室内，光源发射系统引出两路光信号，一路直接导入一单色仪，另一路依次通过聚光镜、小孔光阑和反射镜后入射到真空室内，并在监控片上形成光斑，由一光接收系统接收后，再分别导入单色仪和宽光谱仪。本实用新型把单波长光学监控法、晶控法、宽光谱光学监控法的监控装置复合在一起，协调工作，在镀膜的过程中实时地提供薄膜的多方位信息，实时地修正后续膜层参数及制备条件，用于实时地、全自动地修正膜层误差的影响。

主权项

1、一种智能化光学薄膜全自动监控系统，其特征在于，包括：光源发射系统、聚光镜、小孔光阑、反射镜、监控片、光谱仪和晶控仪，监控片设置在真空室内，所述光源发射系统引出两路光信号，一路直接导入一单色仪，另一路依次通过所述聚光镜、小孔光阑和反射镜后入射到所述真空室内，并在所述监控片上形成光斑，由一光接收系统接收后，再分别导入所述单色仪和宽光谱仪；由所述单色仪出来的光经过一A/D模数采集卡转换后，由一单片机进行初步处理，并通过一网络交换系统传输到一设置有数据处理软件的PC机上；所述晶控仪将几何厚度、沉积速率等信息通过所述网络交换系统传输到所述PC机上；所述宽光谱仪接收的信号传给所述PC机。