发明名称 防静电保护器件
摘要 本发明公开了一种防静电保护器件,包括多个并联的NMOS管,在P衬底上设置有并排的P阱和N阱,所述NMOS管设置于并排的P阱和N阱上,该NMOS管的源极和栅极位于P阱上方,该NMOS管的漏极包括N阱和两个N型扩散区,所述两N型扩散区上方分别各有一个金属硅化物层;所述两N型扩散区中间有一间隔,其中一个N型扩散区位于P阱和N阱交界处的上方,另一个N型扩散区位于N阱上方,所述位于N阱上方的N型扩散区的金属硅化物与一个包含有导电物质的通孔相连接。本发明通过将设置于N阱上的N型扩散区断开,不仅能使各NMOS管均匀开启,还大大的提高了器件的散热效率和耐压强度。
申请公布号 CN1979858A 申请公布日期 2007.06.13
申请号 CN200510111039.1 申请日期 2005.12.01
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 徐向明;金锋;苏庆
分类号 H01L27/04(2006.01);H01L23/60(2006.01) 主分类号 H01L27/04(2006.01)
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 丁纪铁
主权项 1.一种防静电保护器件,其特征在于,包括多个并联的NMOS管,各NMOS管中,在P衬底上设置有并排的P阱和N阱,所述NMOS管设置于并排的P阱和N阱上,该NMOS管的源极和栅极位于P阱上方,该NMOS管的漏极包括N阱和两个N型扩散区,所述两N型扩散区上方分别各有一个金属硅化物层;所述两N型扩散区中间有一间隔,其中一个N型扩散区位于P阱和N阱交界处的上方,另一个N型扩散区位于N阱上方,所述位于N阱上方的N型扩散区的金属硅化物与一个包含有导电物质的通孔相连接。
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