用于校正半导体制造系统故障的方法和系统

摘要

本发明说明了一种对半导体制造系统故障进行校正的方法和系统。对服务组件的故障校正是用与服务人员的交互式范例分析实现的。交互式范例分析可以识别一个或多个事例，其中在所述事例中当前的服务行为数据与过去的服务行为数据基本相符，并利用这种相关性来帮助服务人员进行服务组件的修理。如果需要，交互式范例分析可以对要进行的一个或多个测试进行识别以减少相符事例的数目。由于通过交互式范例分析进行测试并获取结果，减少了相符事例的数目。例如，交互式范例分析可以帮助识别制造系统工具中需要替换以便对问题进行校正的制造系统零件。

主权项

1.一种对用于半导体制造的处理工具的故障进行校正的方法，包括：收集针对于所述处理工具中旧故障的旧的服务行为数据；接收针对于所述处理工具中新故障的新的服务行为数据；将所述新的服务行为数据与所述旧的服务行为数据进行比较；根据所述比较识别出相符服务行为数据；以及根据所述相符服务行为数据进行校正活动。