发明名称 |
太阳电池减反射膜喷涂装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种太阳电池减反射膜喷涂装置,包括工作台,其特点是工作台上设有气动马式分度机构,气动马式分度机构上设置具有四个工作位置且彼此相隔90°的铜板,铜板的三个工作位置下方的工作台内分别设有加热平台、加热平台和冷却平台。本实用新型能实现对太阳电池表面的减反射膜喷涂的半自动连续生产。该装置能对喷涂的工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、工作压力等实行自动控制。 |
申请公布号 |
CN2910967Y |
申请公布日期 |
2007.06.13 |
申请号 |
CN200520047147.2 |
申请日期 |
2005.12.01 |
申请人 |
上海太阳能科技有限公司 |
发明人 |
汪乐 |
分类号 |
C23C18/02(2006.01);C23C18/12(2006.01) |
主分类号 |
C23C18/02(2006.01) |
代理机构 |
上海航天局专利中心 |
代理人 |
金家山 |
主权项 |
1、一种太阳电池减反射膜喷涂装置,包括工作台,其特征是工作台上设有气动马式分度机构,气动马式分度机构上设置具有四个工作位置且彼此相隔90。的铜板,铜板的三个工作位置下方的工作台内分别设有加热平台、加热平台和冷却平台。 |
地址 |
201108上海市申南路555号 |