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发明名称 SHOWER HEAD AND FILM-FORMING DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100728401(B1) 申请公布日期 2007.06.13
申请号 KR20067008748 申请日期 2006.05.04
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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