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发明名称
PROBE ARRANGEMENT ASSEMBLY, METHOD OF MANUFACTURING PROBE ARRANGEMENT ASSEMBLY, PROBE MOUNTING METHOD USING PROBE ARRANGEMENT ASSEMBLY, AND PROBE MOUNTING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100728453(B1)
申请公布日期
2007.06.13
申请号
KR20010003204
申请日期
2001.01.19
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;H01L21/66;G01R1/073;G01R3/00
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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