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发明名称 METHOD OF CLEANING SURFACE OF SILICON-ALLOYED EPITAXIAL LAYERS
摘要
申请公布号 SU513575(A1) 申请公布日期 1977.12.05
申请号 SU19742009979 申请日期 1974.03.28
申请人 MARONCHUK I.E.,SU;SUSHKO B.I.,SU;PUKHOV YU.G.,SU;MARONCHUK YU.E.,SU 发明人 MARONCHUK I.E.,SU;SUSHKO B.I.,SU;PUKHOV YU.G.,SU;MARONCHUK YU.E.,SU
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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