发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 KR100725141(B1) 申请公布日期 2007.06.07
申请号 KR20057020457 申请日期 2005.10.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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