电子装置的制造方法

摘要

本发明的电子装置制造方法能缩短半色调相移掩模的别造TAT、降低成本、加速电子装置的开发、缩短品种开拓TAT和可以降低电子装置的制造费用。此方法是在半色调相移掩模中以有机膜形成遮光用辅助图案。

主权项

权利要求书1.一种电子装置的制造方法，通过包括具有孔隙部的半透明相移图案和设于此孔隙部附近且以相对于曝光用光具备减光性或遮光性的有机模作为主要成分的辅助图案的半色调相移掩模，而于基片上形成图案，其特征在于，上述有机膜以包含酚醛树脂、酚醛清树脂、蒽、萘、菲或其衍生物的树脂为基础树脂，以其作为主要成分。