发明名称 |
可配置的晶粒分离装置 |
摘要 |
本发明提供一种可配置的晶粒分离装置,其被用来处理大范围尺寸的晶粒,该装置包含有:至少一个针安装组件,其具有多个针安装部,以用于在期望的配置中选择性地将推顶针安装在一些针安装部上;以及真空部件,其将该针安装组件包围,该真空部件具有支撑平台,该支撑平台包含有多个开口,该开口被形成所需尺寸和被配置来容纳安装于该针安装组件上的不同配置的推顶针,该推顶针被驱动来通过该开口朝向待分离的晶粒凸伸。 |
申请公布号 |
CN1975984A |
申请公布日期 |
2007.06.06 |
申请号 |
CN200610145878.X |
申请日期 |
2006.11.21 |
申请人 |
先进自动器材有限公司 |
发明人 |
张耀明 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/683(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京申翔知识产权代理有限公司 |
代理人 |
周春发 |
主权项 |
1、一种用于晶粒分离的装置,其包含有:针安装组件,具有多个针安装部,以用于在期望的配置中选择性地将推顶针安装在一些针安装部上;以及真空部件,其将该针安装组件包围,和该真空部件具有支撑平台,该支撑平台包含有多个开口,该开口被形成所需尺寸和被配置来容纳安装于该针安装组件上的不同配置的推顶针,该推顶针被驱动来通过该开口朝向待分离的晶粒凸伸。 |
地址 |
中国香港新界葵涌工业街16-22号屈臣氏中心20楼 |