| 发明名称 | 探针卡移载辅助装置和检查设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种探针卡移载辅助装置，能够辅助电气检查装置中使用的探针卡的移载作业，包括：挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的装置，即使对于重量较大的探针卡，也能够减轻操作者的负担，可以平稳地移载探针卡。 | ||
| 申请公布号 | CN1975439A | 申请公布日期 | 2007.06.06 |
| 申请号 | CN200610162999.5 | 申请日期 | 2006.11.30 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 望月智秋;长坂旨俊 |
| 分类号 | G01R1/02(2006.01);G01R1/073(2006.01);G01R31/28(2006.01);G01R31/00(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R1/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种探针卡移载辅助装置，能够辅助电气检查装置中使用的探针卡的移载作业，其特征在于，包括：挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的装置。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||