| 摘要 |
Eine elektrostatische Einspannvorrichtung und ein Grundelement werden voneinander während des Aufheizens eines Trägermaterial-Halterungselements auf eine thermische Zersetzungstemperatur in einem Bereich von einer thermischen Zersetzungsanfangstemperatur zu einer thermischen Zersetzungsendtemperatur und dann Erweichen und Zersetzen einer organischen Haftschicht abgetrennt. |
