发明名称 Elektrische Kontakteinrichtung und elektrische Prüfvorrichtung für die Prüfung eines elektrischen Prüflings
摘要 Die Erfindung betrifft eine elektrische Kontakteinrichtung (3) für einen elektrischen Prüfling, mit Prüfkontakten (7) zur elektrischen Berührungskontaktierung des Prüflings und mit einer Abstützvorrichtung (14), der ein Zwischenbauteil (30) zum Halten der Kontakteinrichtung (3) in einer Prüfmaschine (2) (Prober) zuordenbar ist. Es ist vorgesehen, dass zur Ausbildung einer permanenten Moduleinheit (32) die Abstützvorrichtung (14) mit einem eigenen, nur dieser Kontakteinrichtung (3) zugehörigen Zwischenbauteil (30) verbunden ist. Ferner betrifft die Erfindung eine elektrische Prüfvorrichtung (1) mit elektrischer Kontakteinrichtung (3).
申请公布号 DE102006054735(A1) 申请公布日期 2007.06.06
申请号 DE200610054735 申请日期 2006.11.21
申请人 FEINMETALL GMBH 发明人 BOEHM, GUNTHER
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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