光学元件安装用基片及其制造方法

摘要

本发明涉及一种光学元件安装用基片。本发明的目的在于提供一种克服以往的对于频率超过10GHz的信号，难以形成图11的形态结构的光学元件安装用基片。此外，提供一种克服以往的难以得到不容易发生基片翘曲、特别是不容易助长因温度变动引起的基片的翘曲的结构的光学元件安装用基片。本发明的光学元件安装用基片为，具有：硅基片和在上述硅基片上的第一电介质基片与第二电介质基片，在上述第一基片上具有上述激光二极管的设置部、上述配线、上述光电二极管的设置部，在上述硅基片上具有上述透镜或上述光纤的设置部。

主权项

权利要求书1.一种光学元件安装用基片，其特征为，具有：具备透镜搭载部且由硅制成的第一基片，与上述第一基片的一主面相对面地形成、具备激光二极管的搭载部及与上述激光二极管连接的配线层、电阻率比上述第一基片高且由玻璃制成的第二基片，以及与上述第一基片的上述一主面相反一侧的主面相对面地形成、电阻率比上述第一基片高且由玻璃制成的第三基片。