电子元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种电子元件及其制造方法，通过在电极上形成保护膜而具有良好的温度特性及电特性。该电子元件包括，基片；被设置在基片的上面、具有相互平行排列的多根电极指的梳型电极；以及形成于基片的上面可覆盖该梳型电极的保护膜。保护膜为凹凸形状，具有在与各电极指相对应的位置为向上方凸出的凸部、和在这些凸部之间为向下方凹陷的凹部。而且，与电极指的延伸方向相垂直的方向的保护膜的剖面形状，在各凸部的顶部彼此之间为向下凸的曲线。

主权项

1.一种电子元件，其特征在于包括：基片；梳型电极，设置在上述基片的上面、具有彼此互相平行地排列的多根电极指；以及保护膜，形成于上述基片的上面以覆盖该梳型电极；其中，上述保护膜具有凹凸形状，在与上述电极指的延伸方向相垂直的方向的剖面、与各电极指相对应的位置为向上方凸起，并且在这些向上方凸起的部分的各项部彼此之间为向下凸的曲线。