| 发明名称 | 用于消除MEMS器件中扰动的系统和方法 | ||
| 摘要 | 用于消除MEMS器件中扰动的系统和方法。该系统(200)包括MEMS器件(203)，所述MEMS器件(203)可包括基底(205)和多个单独可移动的MEMS元件(203－1至203－N)以及控制组件(207)。光学系统(200)可用于和/或形成使用MEMS器件阵列的任何光学设备的一部分。控制组件(207)使用前馈控制信号来消除MEMS器件(203)中的扰动，并且更具体地说，消除由切换或移动反射镜引起的MEMS器件(203)的非切换或静止反射镜中的扰动。 | ||
| 申请公布号 | CN1977197A | 申请公布日期 | 2007.06.06 |
| 申请号 | CN200580019199.1 | 申请日期 | 2005.04.06 |
| 申请人 | 卡佩拉光子学公司 | 发明人 | B·P·特雷迈恩;J·E·达维斯 |
| 分类号 | G02B6/26(2006.01);G02B6/42(2006.01) | 主分类号 | G02B6/26(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张亚宁;陈景峻 |
| 主权项 | 1.一种光学系统，包含：MEMS器件，包括单独可移动的多个元件；以及控制组件，与所述MEMS器件通信耦合并且向所述多个元件提供控制信号用于移动所述元件，其中所述控制信号包括传递至基本消除了由移动元件引起的扰动的某些元件的前馈信号。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||