发明名称 用于超声换能器的薄膜腔
摘要 本发明提出一种用于超声换能器的薄膜腔,其带有用于承载薄膜的空心区域的,并对其进行电镀,优选镀铬。
申请公布号 CN1977307A 申请公布日期 2007.06.06
申请号 CN200580022016.1 申请日期 2005.05.03
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 M·卡尔布赫恩;P·拉普斯;O·哈蒂希
分类号 G10K9/122(2006.01) 主分类号 G10K9/122(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 苏娟;赵辛
主权项 1.用于超声换能器的薄膜腔,带有用来承载可以激起振动的薄膜(4)的壁(3),其中薄膜腔(1)至少在薄膜腔(1)的外侧至少在薄膜区域设有电镀层(7)。
地址 德国斯图加特