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发明名称 SYSTEM UND VERFAHREN FÜR VERGRABENE ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN IN EINEM GLAS-SILIZIUM-MEMS-PROZESS
摘要
申请公布号 DE602004006094(D1) 申请公布日期 2007.06.06
申请号 DE200460006094T 申请日期 2004.03.10
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 HORNING, ROBERT D.;RIDLEY, JEFFREY A.
分类号 B81C1/00;B81B7/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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