| 发明名称 |
POLYCYCLISCHE, FLUOR ENTHALTENDE POLYMERE UND PHOTORESIST FÜR MIKROLITHOGRAPHIE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60211883(T2) |
申请公布日期 |
2007.06.06 |
| 申请号 |
DE20026011883T |
申请日期 |
2002.03.27 |
| 申请人 |
E.I. DUPONT DE NEMOURS AND CO. |
发明人 |
FEIRING, E.;SCHADT, L. |
| 分类号 |
C08F232/08;G03F7/032;C08F32/08;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F232/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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