一种利用飞秒激光双光子制备导电材料的方法

摘要

一种利用飞秒激光双光子制备导电材料的方法，涉及导电材料加工技术领域。其包括：a)步，使用的光源为蓝光飞秒激光，产生的方法为：将波长在750～850nm、脉冲宽度在60～100fs的飞秒激光，经倍频后形成蓝光375～425nm的飞秒光；或使用其它直接产生蓝光的飞秒激光作为加工的光源。b)步，把蓝光375～425nm的飞秒光经透镜聚焦到所要加工的非导电材料上；c)步，通过计算机控制样品位置或激光焦点照射在非导电材料内的位置，使激光与材料发生相互作用，发生双光子吸收，在曝光的位置形成导电的功能材料。本发明较之现有MEMS微型电子器件的加工方法，具有真三维、高分辨、导电性、一次性加工等特点。

主权项

权利要求书1.一种利用蓝光飞秒激光双光子制备导电材料的方法，其特征在于包括：a)步，使用的光源为蓝光飞秒激光，产生的方法为：将波长在750-850nm、脉冲宽度在60-100fs的飞秒激光，经倍频后形成蓝光375-425nm的飞秒光；b)步，把蓝光375-425nm的飞秒光经透镜聚焦到所要加工的非导电材料上；所述非导电材料包括：碘代聚顺丁二烯、本征态聚苯胺和吡咯单体；c)步，通过计算机控制样品位置或激光焦点照射在非导电材料内的位置，使激光与材料发生相互作用，主要是发生双光子吸收，在曝光过的位置形成导电的功能材料。